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行業(yè)新聞

MEMS傳感器滲入廣泛應(yīng)用,推動工業(yè)自動化發(fā)展

2020-11-06

  工業(yè)自動化是在工業(yè)生產(chǎn)中廣泛采用自動控制、自動調(diào)整裝置,用以代替人工操縱機(jī)器和機(jī)器體系進(jìn)行加工生產(chǎn)的趨勢。隨著智能制造的發(fā)展,人機(jī)交互、自動化、智能化應(yīng)用水平不斷提高,對裝備制造的工藝和產(chǎn)品質(zhì)量的要求也越來越高,加之工業(yè)自動化控制產(chǎn)品的應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展,從而拉動了對工業(yè)產(chǎn)品的需求。
  工業(yè)自動化是一個突出的業(yè)務(wù),它正朝著一個新的方向邁進(jìn)。對品種、定制產(chǎn)品和產(chǎn)品差異化的需求不斷增加,使得制造商很難批量生產(chǎn)零部件。但是小批量和批量生產(chǎn)會給組織帶來巨大的成本,企業(yè)可在工業(yè)自動化領(lǐng)域探索新技術(shù)和新機(jī)遇,這機(jī)遇便是微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)。繼機(jī)電一體化之后,便是微型機(jī)電一體化的時代。
  MEMS體現(xiàn)了一種先進(jìn)的半導(dǎo)體技術(shù),它包括單個芯片上的移動元件和電子元件,它致力于將集成電路(IC)制造技術(shù)(如互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)、BiCMOS(雙極結(jié)晶體管和CMOS技術(shù)的集成)與創(chuàng)新的硅微加工444結(jié)合在一起。
  MEMS技術(shù)提供的可靠性、可擴(kuò)展性、靈敏度和成本效益高的解決方案為工業(yè)自動化領(lǐng)域提供了大量的MEMS應(yīng)用機(jī)會。
  工業(yè)微型機(jī)電一體化時代則是MEMS技術(shù)對工業(yè)機(jī)器人尤其有利,因?yàn)樵摷夹g(shù)可以應(yīng)用于觸覺傳感器、導(dǎo)航或接近傳感器。由于商業(yè)可行性較低的趨勢以及某些非MEMS近距離傳感技術(shù)在工業(yè)領(lǐng)域的根深蒂固,在將MEMS技術(shù)應(yīng)用于制造接近或位置傳感器方面的研究受到限制。然而,MEMS技術(shù)允許開發(fā)或生產(chǎn)成本較低的觸覺傳感器,使機(jī)器人能夠獲得感官信息,以便以更通用、自主的方式做出決策和執(zhí)行動作。微型化的趨勢為多傳感器在機(jī)器人、制造過程、過程控制以及生物技術(shù)和生命科學(xué)等領(lǐng)域的應(yīng)用帶來了機(jī)遇。
  MEMS的關(guān)鍵技術(shù)驅(qū)動因素
  成本:最初采用MEMS技術(shù)的主要驅(qū)動因素是成本。MEMS技術(shù)具有降低成本的巨大潛力,因?yàn)樗梢院苋菀着恐圃臁@纾M設(shè)備公司的制造方法已經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)化,每年能運(yùn)送數(shù)百萬個加速計(jì)。與傳統(tǒng)的傳感器制造相比,該工藝流程簡化,且所需的勞動力更少。
  多用戶MEMS工藝(MUMPS)是一種標(biāo)準(zhǔn)化的表面微機(jī)械加工技術(shù),它是利用MEMSCAP中的多晶硅來制造MEMS器件的最廉價(jià)的制造技術(shù)之一。硅是制造MEMS器件的主要材料,它可以使MEMS制造非常經(jīng)濟(jì)高效,因此利潤非常可觀。
  靈敏度提高:MEMS傳感器比傳統(tǒng)傳感器更敏感。這是MEMS傳感器優(yōu)于傳統(tǒng)傳感器的主要原因,尤其是在高精度和高精度的應(yīng)用中。
  小尺寸優(yōu)勢:緊湊是電子或機(jī)械設(shè)備市場的主流趨勢。MEMS技術(shù)提供了在小面積內(nèi)填充更多MEMS組件的能力,這可以降低特定產(chǎn)品的整體尺寸。具有多種功能的MEMS組件可以增強(qiáng)產(chǎn)品的能力,例如工業(yè)機(jī)器人。
  MEMS傳感器滲入廣泛應(yīng)用,推動工業(yè)自動化發(fā)展
  工業(yè)自動化是一個成熟的市場,有著成熟的流程。它也比大宗商品型傳感器的更高的體積市場對價(jià)格敏感;而且大多數(shù)工藝都是一次性投資。目前,基于MEMS的傳感器技術(shù)在這一領(lǐng)域的滲透往往局限于過程監(jiān)控應(yīng)用、工業(yè)安全、機(jī)械監(jiān)控,在裝配線制造應(yīng)用中也有一定程度的應(yīng)用。然而,隨著工業(yè)領(lǐng)域向智能化、分布式以及無線監(jiān)控方向發(fā)展,MEMS技術(shù)在這一領(lǐng)域可能發(fā)揮著越來越重要的作用。
  MEMS支持的小型化和微機(jī)電一體化的趨勢正在推動工業(yè)應(yīng)用的組件、設(shè)備、系統(tǒng)和子系統(tǒng)的發(fā)展。然而,集中研究和發(fā)展努力,解決各種技術(shù)和科學(xué)問題,將有助于在其他領(lǐng)域的轉(zhuǎn)彎,并推動未來幾年工業(yè)自動化的發(fā)展。


(文章來源:儀表網(wǎng))


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